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硅片清洗废水处理案例|硅片清洗废水处理方法

该厂为8厘米晶圆导致线整套搭配的超纯净水系统软件,没天导致含硅废污水150吨。废污泥中虽无天价属,但硅硫含量高易积灰,且阻值率需实现18MΩ·cm方可工業废水整理。原来整工院艺无发足够新颁布法律的《电子技术工業水被污染的物排污原则》(GB39731-2020)尤其排污允许值。 电镀废水组成基本特征 其主要造成的固体废弃物 :悬浊液硅(200-300mg/L)、颗粒物硅(粒度0.1-1μm) 特种的要求 :TOC<10μg/L,硼的含量<5μg/L 地表水性 :低纯水电导率(<50μS/cm)但硅单质行态麻烦 治理生产技术注意事项 全新选用"梯级膜离心分离+电去正离子"女子组合技术: 微滤预加工处理 :1μm陶瓷图片膜拦住大顆粒硅,通量达到80LMH 铝离子互换硅胶粘合剂 :D201大孔光敏树脂选泽性过滤硅酸原子核 二次元RO控制系统 :1、段环保再生资源回加标回收率60%,其次段采取高脱硼膜元器件封装 EDI电去阳离子 :电流大小高密度2A/m²,定期去掉残渣阴阳离子 UV紫外线除臭 :254nmUV紫外光线含水量40mJ/cm² 技能工作亮点 开发建设专用箱阻硅剂(有机质胺类符合物),减轻膜影响生长期3倍 EDI控制模块企业创新流道定制,硅避开率增强至99.8% 同屏在线硅浅析仪(測量区域0.1-500μg/L)完成有目的管控 工作认真总结 经第一方检查测量: 总硅从280mg/L减少为0.05mg/L 硼含碳量从8μg/L降为0.3μg/L 模式出售率从原40%发展至68% 膜换期延后至5年,年执行资金减少35%

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